概述

在半导体和微电子清洗工艺方面,业内正在逐步淘汰使用刺激性化学品的方案,改用更环保的臭氧水处理方案。这种方案节省了昂贵的废物处理,可在室温条件下进行操作,成本更低。

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臭氧化模组

几十年来,戈尔的臭氧化模组为硅晶圆、逻辑芯片和存储芯片的制造、平板显示器(FPD)和光掩膜的表面处理和去除有机污物,提供了更安全、环保、经济的清洗工艺。

戈尔的臭氧化模组比目前市场上的方案更胜一筹,提供的臭氧溶解模组能生成更洁净、无气泡的臭氧水,而且保持稳定一致的高浓度和流量。戈尔的臭氧化模组久经验证,是改进半导体和微电子及平板显示器制程清洗工艺的可靠解决方案。